電子デバイス・フォトニクス工学コース

ナノ・マイクロシステム工学研究室

ナノ・マイクロシステム工学研究室

メンバー紹介

教授/河合晃

研究キーワード

  • ナノ・マイクロシステム
  • デバイスプロセス
  • ナノ計測制御
  • 機能性材料

研究内容

ナノ・マイクロシステム工学研究室では、ナノマイクロシステム、ナノ計測分析、ナノセンシング、デバイスプロセス、ナノ加工、ナノ物性等、広い意味での電子デバイス関連分野の研究を実施しています。特に、(1)インテリジェントMEMS(micro slectro-mechanical systems)の開発、(2)次世代デバイスプロセス技術の開発、(3)ナノ計測制御技術の開発(4)機能性材料開発に力を注いでいます。研究室では、マスクデザインからデバイス作製解析までを一貫して行えるクリーンルームと多くの研究設備を構築しています。さらに、研究室では、これまでに無いユニークな計測技術として、原子間力顕微鏡(AFM)を用いた微小固体の付着凝集性の解析手法(DPAT法)を世界に先駆けて開発し、超LSIなどの開発ツールとして実用的に貢献してきました。また、うなり振動法やナノバブル同定法などの特許化した新規技術も多く開発してきました。現在も研究成果の実用化に重点を置き、産学連携を推進しています。また、本学大学院の重要な使命は、実践的指導者としての学生の育成です。将来の日本の産業を背負う若い技術者として、現象を論理立てて見つめ、かつ、機能的なプレゼンテーションに重きを置いて指導しています。

ナノ・マイクロシステム工学研究室
直接メタノール型マイクロ燃料電池(μ-DMFC)の200チップアレイ

研究室の様子

河合研究室では毎朝集合してから、簡単な日常点検と整理整頓を行い、研究室の安全を保っています。その後、学生はそれぞれのスケジュールで研究を進めます。世界中のライバル研究や最先端技術の調査に加え、先生と個別の打ち合わせを行うことで、今後の研究方針や実験を日々調整しながら研究をしています。週に1度行われる報告会は実際の学会等を意識した発表スタイルとなっており、得られた結果を効果的にアピールする能力を養います。研究の他には英語力向上をサポートするような様々な取組みを行っています。スライドを用いて様々な場面を想定した英語での議論や自分の研究紹介など、日々英語に触れる機会を作ることで確実に力を付けていきます。日々の研究や実験計測は、クリーンルーム(クラス1000)と呼ばれる花粉や埃等の粒子がほとんどない特別な部屋で行っています。クリーンルームには様々なデバイス製造装置があり、これらを用いてナノ・マイクロといった小さなデバイスシステムを開発しています。最新情報では、体内で発電動作する微小な燃料電池、リソグラフィによるな新触感表面や植物工場に適用する電子デバイス等を作製しています。

ナノ・マイクロシステム工学研究室
クリーンルーム内でのデバイス作製の様子